◆ 我們的澆注方法可提供較長的加熱器壽命和熱均勻性。真空釬焊和過盈配合結(jié)構(gòu) （IFC） 方法是優(yōu)異的非鑄造替代方案。

◆ 鋁 356 是基座加熱器的主要鑄造合金，對大多數(shù)工藝環(huán)境具有較好的兼容性，高工作溫度為 450°C （840°F），典型溫度均勻性為 ±0.3% 或更高。

◆ 借助 IFC，可以使用鋁 6061，或者對于更高的工作溫度，CAS 提供各種不銹鋼牌號、銅、鎳和其他高性能合金的解決方案。

◆ 精密 CNC 加工可制造出滿足嚴(yán)格平整度要求的部件;還提供表面特征，例如晶圓提升孔、接近銷和真空槽陣列。

◆ 軸通過TIG或電子束焊接進(jìn)行集成，然后檢查氦氣泄漏的真空完整性。

◆ 涂層選項(xiàng)包括硬涂層陽極氧化、化學(xué)鍍鎳板、金或銅板、粉末涂層選項(xiàng)、微研磨等。還提供鈍化程序。

◆ 我們的內(nèi)部潔凈室設(shè)施可提供半工業(yè)規(guī)格的清潔和包裝。